二手ACCRETECH AD3000T-PLUS 晶圆划片机
ACCRETECH AD3000T-PLUS 全自动晶圆划片机,支持 12 英寸晶圆加工,对角双主轴节省车间空间,三轴高速伺服,切割精度高。适配硅片、功率器件、传感器晶圆全切与半切工艺,二手设备可整备校准,满足封测厂量产与研发试样需求。
详情介绍
产品概述:
AD3000T-PLUS 为爱德万(东京精密)全自动晶圆划片机,专为最大 12 英寸(300mm)晶圆切割工艺设计,采用对角布局双主轴架构,节省洁净车间占地空间,全部维护、换刀操作仅需设备正面操作,无需侧面预留维护空间。设备刚性强、振动控制优异,兼顾高产能与高精度切割,二手设备市场流通稳定,广泛用于半导体封测产线,支持硅片、化合物半导体等多种基板全切、半切加工。
核心特点:
1.对角式双主轴结构,空间利用率高,同等面积可排布更多设备;X/Y/Z 三轴伺服驱动,X 轴最高速度 1000mm/s,定位重复精度可达 0.001mm,切割稳定性强。
2.标配 1.8kW 主轴,最高转速 60000rpm,可选配 80000rpm 高转速主轴,适配薄晶圆、窄划道高精度切割需求;可选自动刀片更换系统 ABES,减少人工干预。
3.搭载双光学测高单元,可搭配 Active-Z 台面补偿功能,自动修正台面高低偏差,稳定控制切割深度,降低崩边、裂片不良。
4.17 英寸触控人机界面,操作直观,支持刀痕检测功能,工艺参数调试便捷,适配产线长时间连续量产。
应用器件:
硅基晶圆、化合物半导体、各类封装基板,适用于存储芯片、功率器件、传感器、逻辑芯片等晶圆切割分离工艺,支持框架载片加工。
商用场景:
半导体封装测试厂量产划片、研发小批量试样;二手机型性价比突出,适合产线扩产、新增工位,设备入库后可完成整机整备、精度校准,出货附带检测报告。




